Veeco 与 ALLOS 携手在日本 IWN 展示 200 mm 硅基氮化镓外延片 microLED 突破成就

Veeco Instruments Inc. (Nasdaq: VECO) 与 ALLOS Semiconductors GmbH 今日宣布取得又一阶段的合作成果，双方共同努力，致力于为 microLED 生产应用提供业内领先的硅基氮化镓外延片产品技术。两家公司最近合作的宗旨是，在为全球范围内多家杰出的消费类电子产品公司生产外延片的同时，展示 ALLOS 200 mm 硅基氮化镓外延片产品技术在 Veeco Propel® MOCVD 反应器上的可复制性。

“要将 microLED 技术转化为生产，仅依据单项指标展示主导价值是不够的。我们必须确保每种外延片的整套规格都具有出色的可重复性和收益，”Veeco Compound Semiconductor 业务部门高级副总裁兼总经理 Peo Hansson 博士表示。“此次成功联合再次肯定 Veeco 的优秀 MOCVD 专业知识与 ALLOS 硅基氮化镓外延片产品技术强强结合，能够为客户提供经验证的、可靠的创新方案，加速推进 microLED 应用。”

作为标准，传统 LED 技术通过分类和分级实现波长一致性。但鉴于 microLED 尺寸小、数量多而无法分类和分级，因此，外延沉积的一致性变得更为重要。要使大批量生产 microLED 显示器的承诺变成现实，最重要的成功要素在于实现极佳的发射波长一致性，这样就不需要进行单独的 microLED 芯片测试和分选。根据业内目标要求，外延片分级应介于 +/-1 nm（下限）和 +/-4 nm（上限）之间，取决于应用和传质方法。通过合作项目，Veeco 和 ALLOS 通过标准偏差仅为 0.85 nm 的晶片进一步改善至关重要的波长一致性，这在生产系统方面属于行业首例。

“Veeco 和 ALLOS 对晶片之间的可复制性进行了验证，所有晶片的平均波长标准偏差为 1.21 nm，且峰值波长介于 +/-0.5 nm 范围内。由此，我们朝着 +/-1 nm 外延片分级的目标又迈进一大步，”ALLOS 首席执行官 Burkhard Slischka 表示。“我们的技术已经可以在直径 200 mm 的晶片上使用，这样就能使用低成本、高收益的硅系列进行 microLED 芯片生产。此外，我们对于 300 mm 晶片应用已有清晰的发展蓝图。”

作为下一个重大技术转变主题，microLED备受显示器技术创新者的关注。根據LEDinside 分析，Micro LED 市場產值於2022 年將達31.8億美金。边长小于 100 µm 的 microLED 技术被视作开发功耗更低的旗舰显示器的重要驱动因素，相关技术承诺助长了这一乐观情绪。但是，材料成本高、收益低以及 microLED 传质技术产量一直阻碍着此类显示器的开发。此次技术联合有效地解决了这些挑战，Veeco 和 ALLOS 将继续与客户合作，旨在进一步改善硅基氮化镓外延片和 microLED 传质技术。

2018 年 11 月 12 日，两家公司将携手在日本金泽市召开的国际氮化物半导体工作研讨会 (IWN) 上详细展示他们的突破成就。