首页 > 产业资讯 > 日商AIR WATER选用爱思强系统生产GaN-on-SiC-on-Si

日商AIR WATER选用爱思强系统生产GaN-on-SiC-on-Si

2013-08-30 08:11:26 [编辑：nicolelee]
德国AIXTRON爱思强 29日宣布，日本安昙野市的爱沃特株式会社（AIR WATER）告称已成功安装一套8x6英寸规格的全自动的爱思强AIX G5 HT行星式反应器，用于氮化镓外延层的生长。

AIR WATER之所以选用爱思强MOCVD系统，是基于该系统能够实现优越的材料均匀性，这是发挥AIR WATER在氮化镓外延基材方面的优势的一个关键要素。在系统安装完成后，该公司已宣布今年内推出在硅基材上生长的碳化硅基氮化镓（GaN-on-SiC-on-Si），充分发挥该系统的卓越生产效率。为应对日后的市场需求，AIR WATER也正考虑将该系统升级为爱思强AIX G5+系统，升级后的系统能够处理5x200毫米（8英寸）规格的硅基材。
 
与传统的硅基材相比，增加的碳化硅层具有能在氮化镓的初始成核过程保护硅基材的优点。碳化硅本身的晶体结构使得其被视为氮化镓生长的理想模板。因此，硅基碳化硅基材能够生长出大面积、晶体质量卓越的氮化镓层。在广泛的高功率及LED应用中，这一特性能带来效率的提高和实现成本节约。

AIR WATER是一家日本领先的工业气体制造商，作为半导体气体业务的一部分，该公司已针对功率器件和LED应用开发出在硅基上生长的碳化硅。在此方面，该公司已在8英寸规格大的硅基材上成功生产出高品质3C-SiC (111)，同时也已宣布推出此类产品，以满足就制造LED及电力电子应用的电子器件所需的氮化镓外延生长。（责编：Flora）
‹ 前一则
璨圆引进三安 MOCVD合计达277台力拼转盈后一则 ›
中芯国际公布2013中期业绩，经营利润达到历来高位
相关文章
【版权声明】
「LEDinside - LED在线」所刊原创内容之著作权属于「LEDinside - LED在线」网站所有，未经本站之同意或授权，任何人不得以任何形式重制、转载、散布、引用、变更、播送或出版该内容之全部或局部，亦不得有其他任何违反本站著作权之行为。
【免责声明】
1、「LEDinside - LED在线」包含的内容和信息是根据公开资料分析和演释，该公开资料，属可靠之来源搜集，但这些分析和信息并未经独立核实。本网站有权但无此义务，改善或更正在本网站的任何部分之错误或疏失。
2、任何在「LEDinside - LED在线」上出现的信息（包括但不限于公司资料、资讯、研究报告、产品价格等），力求但不保证数据的准确性，均只作为参考，您须对您自主决定的行为负责。如有错漏，请以各公司官方网站公布为准。