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爱思强CCS系统助力武汉华工正源增产基于III/V族材料的光学元件

2013-08-26 09:52:51 [编辑：nicolelee]

德国AIXTRON爱思强近日发布新闻称，中国领先光学元件开发商和制造商武汉华工正源光子技术有限公司（以下称“华工正源”），已经订购一台6x2英寸的喷淋领头式气体喷嘴(CCS)外延沉积系统，用以在磷化铟衬底上生产发光设备和检测设备。

华工正源的首席科学家王肇中说道：“再次订购说明了我们对爱思强科技的满意和信任。我们现有的系统已经充分显示了爱思强产品的多功能性，易操作性和可重复性。购进新的系统后，我们就可以实施我们的产能扩展计划。我对顺利扩大产能和爱思强服务团队优质的支持、安装和操作服务抱有很高的期待。”

华工正源是中国拥有外延生长，芯片制造，器件、光学模块和子系统制造的完整大规模生产线的厂家之一。产品范围覆盖了半导体激光器和探测器芯片，有源器件和收发器，可广泛应用于数字通信，模拟通信和光传感器。

爱思强6x2英寸CCS外延沉积系统专为研究和生产而设计。使用CCS系统开发的过程可以很容易地扩展并部署到较大规模生产的CRIUS平台上。CCS的三个分区加热器能提供最佳的温度均匀性标准。(责编：Flora)

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