美国卢比肯技术公司选用Zeta-300系列仪器来监控蓝宝石衬底生产线

美国泽塔仪器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC.)今天宣布美国卢比肯技术公司（纳斯达克股票代码：RBCN）已订购多台Zeta-300™ 系列光学轮廓仪用来监控其蓝宝石衬底生产线。卢比肯蓝宝石衬底的用途之一是被用作生产高亮度发光二极管（HBLED）的基片。

作为发光二极管、半导体以及光学工业所需的蓝宝石衬底的主要供应商，卢比肯的产品质量在业界被视为黄金标准。蓝宝石基片上的缺陷可能导致后续发光二极管晶圆的报废，从而对晶圆厂商生产成本造成很不利的影响。基于对此的充分认识，卢比肯购买了多台Zeta-300™ 系列光学轮廓仪用来检测蓝宝石基片上可能出现的缺陷，以及精确测量图案化蓝宝石基片上PSS的几何尺寸，以此来帮助发光二极管晶圆厂商提高成品率、降低生产成本。
 
以最优性价比享誉业界的泽塔仪器操作简易、测量精度高，已经被众多与发光二极管生产有关的企业所采用。作为泽塔最新的光学廓线仪，Zeta-300™ 系列是专门针对图案化蓝宝石基片（PSS）极其严格的测量要求而设计的。它不但可以精密测量PSS的几何尺寸，而且可以检测PSS样品上存在的缺陷。这种合二为一的独特设计和功能在PSS测量领域属于首创。
 
“根据生产线的要求，我们对多家厂商的测量仪器进行了评估。我们得出的结论是Zeta-300™ 系列所提供的测量速度和准确性均优于其它同类产品，” 卢比肯技术公司的总裁Raja M. Parvez先生说道：“使用泽塔的仪器可以确保我们的产品能够满足并超越我们自己内部的和我们客户要求的质量标准。”

利用泽塔的Z-点阵™ 专利技术，Zeta-300系列能够对刻蚀的PSS、显形光阻（PR）以及透明的多层结构进行量测，其测量结果准确度高、重复性好。泽塔的仪器在业界被公认为具有最佳的光学硬件和计算机软件算法组合，可以快速可靠地对数据进行采集和分析。与同类产品相比，泽塔的仪器在对发光二极管产业中的PSS做量测时，所提供的数据准确性最高、再现性最好。

Zeta-380配备有晶圆自动装卸机械手和特定的应用程序软件，它所提供的成像和测量功能优于激光共聚焦显微镜。客户用Zeta-380可检测到的一些关键缺陷在其它同类检测仪器上可能不会被发现。直观和创新的系统设计既简化了泽塔仪器的操作和使用，又降低了系统的总体拥有成本。

泽塔仪器公司总裁Rusmin Kudinar先生说，“Zeta-300系列产品能够被世界上最大和最受人推崇的PSS晶圆供应商之一所选中，并被其作为生产过程中的一个组成部分，这是对我们的产品战略和研发成果的充分肯定。我们期待着跟卢比肯这样一个值得信赖的伙伴进行持续的合作，使其在不断推进蓝宝石衬底生产技术的征途上阔步前进。”