Soraa公司购置Plasma-Therm系统，用于LED晶圆制程

LED和雷射技术大厂Soraa公司正在开发用于普通照明和投影显示市场的新类LED和雷射，日前，该公司最近购买了三套Plasma-Therm系统，用以在其晶圆制程中进行电浆沉积和蚀刻步骤。

公司新近购买的三套系统包括790+® RIE、VERSALINE® PECVD和VERSALINE® ICP。透过提供电介质沉积和金属、电介质以及活性物质的结构排列，它们共同实现了前期关键的制程技术、步骤，这对于开发和生产最先进的光子元件相当重要。而且，随着非工业照明、显像、生物技术、国防以及其他工业领域的主流应用开始使用LED和雷射，它们的需求也在逐步增加。

该公司销售与市场行销执行副总裁Ed Ostan指出：“当工程师将他们的技能和知识应用于不同的半导体应用领域时，他们通常无法将其所拥有的知识和经验用于操作不同的设备集。应用Plasma-Therm制程系统的积极经验不仅吸引了更多新的订单，而且还保持了持续的业务关系。以前使用Plasma-Therm设备所体会到的优越性在这次制造商购买Plasma-Therm设备的决定中发挥重要作用。我们重视建立强有力的业务关系以及我们系统经过验证的可靠性和支援，这是客户重复订购的关键因素。”

有关Soraa公司
Soraa由来自于圣巴巴拉市加州大学的先进氮化合物研究员Shuji Nakamura教授、Steve DenBaars教授和Jim Speck教授创立，执行长为Eric Kim，目前，该公司正迅速扩展其美国厂的量产制造能力。

有关Plasma-Therm
Plasma-Therm成立于1974年，是先进的电浆制程设备供应商，提供多种蚀刻和沉积技术。Plasma-Therm系统支援各种专业市场，如固态照明、薄膜磁头、MEMS、光罩和化合物半导体市场。为满足全球客户群的多元化需求，Plasma-Therm在北美、欧洲和亚太设有销售、服务和备件供应点。