美国LED芯片龙头Cree发布了口径为6英寸,约150mm的SiC底板,6英寸产品的微管密度不超过10个/cm2,主要用于LED、高频元件及功率半导体元件。 Cree目前SiC底板口径以4英寸为主,6英寸底板不但可以提高生产效率,还可削减制造成本,Cree 6英寸底板量产后,SiC功率元件价格则有望降低。 据悉,部分厂商正在投产使用4英寸底板制造的SiC二极管。随着6英寸SiC底板的普及,估计从事SiC功率元件业务的厂商也会增多。