近日,Veeco宣布推出TurboDisc(R) E475(TM) As/P MOCVD新系统,用于生产红、橙、黄(ROY)高亮度LED和多结III-V聚光太阳能电池。
TurboDisc As/P MOCVD新系统可提供其它竞争产品无可比拟的生产控制和稳定性,还可大大降低生产ROY HB-LED、LD、PHEMT、HBT的成本。先进的MOCVD系统以Veeco的Integrated RealTemp(R)200技术为主要特色,还具有直接外延片温度控制、快速气体切换及真空进料自动化等特点,材料质量出众,生产效率高。
Veeco MOCVD部总经理Piero Sferlazzo表示,「TurboDisc E450就具有稳定量产优质ROY LED和多结太阳能电池的生产能力,而现在凭藉下一代E475,Veeco将继续推动MOCVD技术在量产高亮LED和III-V聚光太阳能电池方面的发展。与E450相比,E475的产能提高了15%,维护成本也得到了改进。」