专访：InZiv支援Micro LED显示制程优化，推出适用于<1µm芯片高分辨率的检测方案

过去几年来，Micro LED在产业持续挹注资源大力推动下，已在新兴显示技术中确认地位，并且开始进入商转过程。在此关键时刻，良率提升以及优化成本，成为产业的关注焦点。如何通过改进制程来同时达成这两项目标，无疑是现阶段投入Micro LED研发的厂商们最急迫的挑战。

为了将Micro LED的良率持续拉升，检测因而成为在不同制程阶段的重要步骤。相关厂商皆致力于指认出芯片的缺陷或是其他相关问题。然而，由于Micro LED的芯片尺寸比传统LED小100倍以上，检测的数量又成数万倍成长，现有的检测方案不但难以提供相对应的检测分辨率，也无法快速处理如此大量的芯片。也因此，具备更高分辨率及准确度的检测方案，将是决定Micro LED显示技术能否加快商品化脚步的关键。

而在Micro LED显示技术制程中，检测的要点有哪些？相关设备厂商又能带来哪些助益？针对这些问题，LEDinside对以色列的检测设备新创公司InZiv进行访谈，由其执行长David Lewis进一步说明创新检测方案在Micro LED量产制程中所扮演的核心角色。

图片来源：InZiv

结合光测PL及电测EL的高分辨率检测程序能检验小于1 μm的LED芯片

LED检测可依据测量原理分为光致发光测试（Photoluminescence; PL）及电致发光测试（Electroluminescence; EL），前者通过光学方式照射或扫过LED来检测，后者则是藉由通电来确认LED是否正常运作。两者皆可用来检测LED的功能是否正常且符合业界标准，也各有利弊。

PL可以在不接触且不损坏LED芯片的情况下进行测试，但准确度较EL测试低。而EL测试虽然较准确，但需要通过物理性的探针接触方式来进行通电测试，而在Micro LED芯片尺寸非常微小的状况下，挑战性更高一层。

而InZiv的高分辨率解决方案，则是将两种测试方式结合起来。首先以大范围的PL扫描，指认出需要进一步检测的区块，再以更精细的高分辨率的nano-PL针对这些区域进行检测，找出更多信息。nano-PL测试已能够达到100 nm的分辨率。最后，再采用nano-EL测试补强，确保检测范围内的芯片皆能运作。

「一片标准的Micro LED晶圆通常包含上百万颗芯片，通过此三阶段筛选测试方案，InZiv能将需要高分辨率检测的范围缩小，控制EL检测规模。」Lewis说明，如此一来，检测的速率能够大幅提升，检测成本也因此降低，同时，原本正常运作的LED芯片也不会因检测而造成损害。

至于检测的精密度，Lewis则骄傲地秀出数据：「我们的检测方案能够用在1 μm甚至以下的芯片尺寸，并可达到100 nm的精准度跟重复率（± 10%）。」

图片来源：InZiv

建立芯片特征及缺陷数据库改善Micro LED制程

有效率的检测方案不仅要提升技术精度，更提供全面性的检测找出芯片的缺陷问题，进而协助厂商检视Micro LED制造过程并能加以改善。因此，InZiv也在其高分辨率检测方案中，针对Micro LED芯片的各项特征进行细部检视，让客户得以重新确认芯片的缺陷来源，由此调整制程以提升良率。

Lewis强调：「InZiv能以比目前市场上的方案高出10倍的超高分辨率来检测Micro LED芯片。」

Micro LED厂商能够藉此全方位检视不同的芯片特色，包括光学及光谱的不规则处、奈米等级的3D结构、出光角度、发光效率及散热特性，还有光学及结构上相对应的边墙结构等。藉由分析这些特性，厂商便能抽丝剥茧而找出制程中造成缺陷的问题，对症下药解决难题。

通过PL大范围扫描以及后续的nano-PL跟nano-EL检测阶段，InZiv企图整合搜集到的芯片信息加以分门别类，建置在线数据库。并扮演着Micro LED制程中承先启后的关键角色，让客户在确认芯片良率的同时，也能回头优化制程。

InZiv持续专注研发，拓展检测设备产品线对应不同Micro LED制程阶段

随着Micro LED显示技术逐渐从研发样本转向商业量产，InZiv认为业界对于检测设备的需求将会持续增长，「我们的目标则是要提供相应于各个不同制程阶段的检测方案，成为Micro LED技术进展的第一线后援。」Lewis强调。

Lewis指出，InZiv已经推出Micro LED的晶圆片检测方案，目前能在25分钟以内以PL方案完整检验单片6吋晶圆片，并希望在明年能将检测时间缩短至15分钟以内。同时，InZiv也正打造能够检测整个晶圆片的EL方案。

除了持续提升晶圆检测的速率跟精准度，InZiv也积极研发针对其他制程的检测方案，现阶段正与上下游厂商讨论Micro LED巨量转移后的检测，之后也希望能参与面板阶段的检测。

「InZiv当前的目标是延伸产品线，以更符合不同的Micro LED制程需求。」Lewis表示，由于Micro LED显示技术依然蓬勃发展中，生态圈内的厂商，皆对创新技术抱持开放态度，并期待有更多新技术投入，加快突破当前瓶颈。这个产业氛围也让InZiv能够跟产业链建立起更密切的合作关系。

InZiv已经开始与多家Micro LED领导厂商合作并且广受好评。随着市场持续成长，InZiv也看好不同阶段的Micro LED技术研发对于高分辨率检测方案的需求都将开始爆发。（文：LEDinside Yining）

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