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中山大学购入Thomas Swan CCS MOCVD反应腔，用于GaN LED研究

2007-09-21 17:05:21 [编辑：Emma]

早在2007年第1季度，中国广东的中山大学向Thomas Swan订购了一台Thomas Swan Close Coupled Showerhead (CCS) MOCVD反应腔。该MOCVD反应腔将被用于一项关于高亮GaN基LED的研究计划中。

中山大学选择了3x2英吋的紧配合喷淋头反应器，用于在蓝宝石及SiC衬底上生长GaN材料。该设备将安置在位于中国广州的中山大学光电研究实验室的无尘室裡。

王钢是中山大学光电材料与技术国家重点实验室的一位教授，他表示，「Thomas Swan CCS tool提供了最佳的GaN外延技术，也将满足我们开发nitride-on-silicon异质磊晶的需要，作为下一代更低成本材料，应用于显示器背光源。」

王钢教授进一步表示，「我们已与AIXTRON建立了友好关係，希望得到AIXTRON更进一步的本地支持与服务。我们对工艺灵活性、厚度一致性、 掺杂及组成成分等有严格的规定，而Close Coupled Showerhead（CCS）系统正好能满足我们的要求，且具有高稳定性，性能比其它垂直式生长腔优越得多。所以，我们决定在该平台上进行高亮GaN LED的研发工作。」

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