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研究员开发新型Micro LED转移工艺，＞75000颗/次

2023-07-17 17:14:19 [编辑：Andygui]

近日，英国斯特拉思克莱德大学（University of Strathclyde）的研究者宣布开发了一项Micro LED新型转移工艺：连续滚轮转印技术，可在一次转印中精准地转移超75000颗Micro LED，并针对转移的数量和良率开发了自动计量系统。

a) 滚轮转印设备示意图；b) 转印制程（左到右），器件从供体释放到转移头，再放置到接收芯片上

研究人员表示，这项工艺可以实现Micro LED的巨量集成，可在一次转印中转移一个320x240像素阵列，相当于75000颗以上的Micro LED，相对位置精度达亚微米级，而且能够保持像素阵列的几何结构，像素空间定位误差与设计布局的偏差控制1μm以内。

另外，研究者还采用了基于简单光学显微镜的自动亚微米级精准计量系统，用于评估如此大规模数量的器件，同时还可以评估良率。

除了Micro LED巨量转移，该工艺还可用于其他类型的设备，包括硅和印刷电子设备，如柔性和可穿戴电子设备、智能包装和射频识别标签；同时，该工艺在光伏设备制造、药物输送系统、生物传感器和组织工程等生物医学应用中也具有应用潜力。

目前，这篇论文已发表在《光学材料快报》上，论文链接是：https://opg.optica.org/ome/fulltext.cfm?uri=ome-13-8-2236&id=532711。（LEDinside Janice编译）

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