台新技术突破PSS瓶颈 良率接近100%

LED有许多制程，“图案化蓝宝石基板(PSS)”是其中之一，业界现以“黄光微影”技术处理PSS，产能有限，良率亦不理想。

中国台湾成功大学机械工程学系教授李永春带领团队开发出全新的“软性光罩微影”技术，良率几乎百分之百，克服业界头疼的量产、良率等问题。业界看好此技术前景，与该团队合作，希望以“软性光罩微影”关键技术与元件，支援下一世代LED产业的发展，并进军韩国、大陆、日本的PSS市场。

李永春教授表示，LED采用的蓝宝石基板硬度极高，在讲究LED高发光效率的要求下，必需在基板上做出极微小、细密的图案结构，才能有高的发光效率。5年前业界采用玻璃光罩技术，但硬式玻璃光罩与基板的贴合度不佳，很难在基板上做出细腻的图案与结构。后来改用投射式黄光微影技术与步进式曝光机台，但此技术适合处理半导体产业中小面积与个别图形的曝光，用于LED-PSS大面积为结构的曝光时，会有费时、费工、图形接缝、光学失焦…等问题，且量产效率低，良率亦不甚理想。

李永春教授指出，软性光罩微影技术，以软性材质覆于蓝宝石基板上，没有昔日玻璃光罩技术的硬碰硬、做不出细腻结构的问题，也没有黄光微影只适合小面积曝光的困扰。以软性光罩微影技术做出的PSS，有效的克服上述两个问题，而且过程极为稳定。李永春教授说，现行的黄光微影技术，要在PSS上做出高解析度的小型图案，以6寸大小的产品为例，1小时只能做4、5片，而且还有良率不理想的问题，估计1小时生产的可用品约2片，若改采用软性光罩处理技术1小时可做4、50片，也没有良率的问题，至于代工费用，采用黄光微影制程1片约80至100美元，改用软性光罩处理技术可以降低约一半的制程成本。

李永春教授强调，成大开发的软性光罩微影技术，不只革命性的克服了业界长期以来生产PSS的大瓶颈，还有一层极重大的义意——技术自主。李永春教授表示，目前业界已纷纷打探软性光罩微影技术，预定明年初的第一季即可问市，估计一到两年后业界就会大举跟进。（责编：Nicole）

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