中晟ProMaxy MOCVD正式进入市场

中晟光电设备（上海）有限公司今日上午正式宣布,大型MOCVD设备ProMaxy进入市场。

该公司介绍称,这种设备专注于超高亮度LED 的大规模生产，具有目前世界上最高的系统产能，可以实现264片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸产能，具有最低的单片外延生产成本，并同时具有良好的波长均匀性及大规模外延生产所需的各项关键性能。

ProMaxy适合大规模生产多种器件，包括蓝白光LED、绿光LED、紫外光LED以及功率器件等，且简单更换工艺程序即可实现不同器件的生产。另外,客户可以根据需要自由选择配置1-4个反应腔，各个反应腔独立操作控制，提高设备效率和生产的灵活性。现已有客户接受多腔ProMaxy并调试进展顺利。此外，多家客户对ProMaxy完成了现场验机与评估。

公司董事长兼执行长陈爱华博士指出表示：“中晟推出ProMaxy旨在为我们的客户提供最优的拥有价值和能发挥客户自身优势的设备平台，为半导体照明高速发展提供新的活力。”

中晟的客户汉莱总经理孙明表示，“中晟ProMaxy MOCVD 在两周内便完成安装，第二炉便达到85%的亮度指标。经过进一步的调试和验证，ProMaxy生产出来的1023芯片在20mA 已达155lm/W；装入12W 的T8灯管后，整灯光效仍超过140lm/W。”

该公司还在发布会现场与媒体进行了Q&A环节。

Q：中晟光电设备创业的理念及目标是什么？ProMaxy命名又有何特殊意义？

A:中晟的英文名叫TOPEC，全名Tang Optoelectronics Equipment Corporation，其中“Tang”（唐）自古代表强盛的中国，“TOP”又寓意世界领先。

中晟光电致力于建立一个以中国为基地，世界领先的绿色能源与节能减排高端装备、核心技术和工艺制程的企业，首先实现一流的LED MOCVD设备的国产化。

而ProMaxy 是由3个英文字缩写组合而成。“Pro”代表 Productivity（产能）； “Max”代表Maximum（最大量化）；“y”代表Yield（良率）。组合起来表示最高的产能和最优的良率。

Q：目前外延链产能出现过剩状况，中晟的MOCVD在这种市场状况下如何切入市场？

A：首先产能过剩是相对的，做得好的企业还在扩充产能。中晟ProMaxy目前主要针对仍在扩充产能的企业，而且今年首要任务是获得市场验证和认可，为2014 年销售和营运盈利显著增长奠定基础。

中晟ProMaxy 能为客户提供最优的拥有价值，能提供目前市场上最高的系统产能和最低的外延营运成本（COO）；不仅适合蓝白光LED的外延生产，而且不需更换软件硬件就可以进行从蓝白光转换成绿光或紫外光的外延生产。

Q：中晟产品与进口设备和其他国产设备比较，分别有何优势？

A：在与进口设备比较方面，

1. 既能满足大规模外延生产的需要，提供最低的外延营运成本（COO），同时又能提高EPI效率设备平台的综合集成的MOCVD设备与技术
2. 提供机台配置和外延生产的灵活性：可单腔数或偶腔数配置，具有混合交替生产蓝白光、绿光或紫外光的灵活性
3. 中晟的售后服务是以客为尊，并且配有实验室及配套的MOCVD设备等设施可供客户测试新的工艺及培训工程师

而中晟的目标是首先实现世界领先的LED MOCVD 设备的国产化，打破MOCVD 设备与技术被欧美厂商垄断的局面，欢迎更多国产的设备帮助实现十二五节能减排目标。ProMaxy的优势在于它具有自主创新的MOCVD 核心技术的知识产权，而且解决了目前大规模外延生产中设备所存在的关键问题。

Q：贵公司的MOCVD一年可以出货几台？短期出货有何预期？

A：目前公司的设备生产能力可达年产80个反应腔。目前已经有一台多腔的ProMaxy机台被长三角地区的客户接收，正在进行LED芯片的开发与验证。另外已有5家客户完成了现场验机与评估。今年预计可实现销售8个反应腔的设备。

Q：ProMaxy 的核心技术是什么？自主研发的技术有无知识产权？

A：中晟的核心技术包括多项国内外申请的专利和技术秘密，可由5个国内已授权的专利来代表，分别是：

1. 一种外延片托盘及支撑旋转联接装置
2. 一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置
3. 用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布控制的装置
4. 具有多个外延反应腔的MOCVD系统及其操作方式
5. 用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法

Q：ProMaxy在技术层面还有哪些优势？

A：首先该产品的良率可参照波长均匀性；片内STD <1nm；片间与批次间Δλ<±2nm。

第二，该产品不仅适合生长蓝白光、绿光及紫外光LED，而且可以一炉一炉的交错独立地进行外延生长，相互不干扰。

第三，每日可以实现平均2.5 到3 炉的运作。

Q： ProMaxy多腔配置的价格大概多少？

A：中晟产品价格是根据外延营运成本来确定。如不包括衬底基片，设备的价格和生产效率（产能、维护周期等）占单片外延营运成本的约33%，Mo 源、化学气体、电力及水等消耗约占40%，耗材约占14%。中晟ProMaxy具有最低的单片外延营运成本就是基于这三部分比进口设备均有优势。因此，与类似产能的机台相比，ProMaxy在价格上要比进口设备低。

Q： 半导体照明节能产业规划提到会重点支持生产型MOCVD的量产，新产品否符合生产型MOCVD 的定义吗？

ProMaxy具有自动化装卸、连续外延生产性能的多腔系统，单腔的产能为66片/2英寸，17片/4 英寸，或8片/6英寸。如系统配置4个反应腔，产能高达264片/2 英寸，68片/4 英寸，或32片/6 英寸。因此ProMaxyTM 是符合而且超过半导体照明产业定义的生产型MOCVD。