Coherent相干公司Micro LED成套解决方案

活动名称：Coherent相干激光技术系列论坛及准分子激光器高端应用特别专场

活动时间：2021年3月17日-19日

参与方式：在线直播

活动简介

3月17-19慕尼黑上海光博会期间，Coherent相干公司推出专题报告，分享Micro LED行业最新激光技术与应用。

准分子激光器在Micro LED领域具有出色的应用潜力，短波长、短脉宽、高功率、高能量等独特优势，使准分子激光器非常适合加工Micro LED制造中常用的III-V族材料系统。

Coherent相干公司的准分子激光剥离（LLO）设备可达到每个激光脉冲处理多达上万颗芯片，最高精度可达到微米量级。此外，只有准分子激光技术可以满足透明PI材料的激光剥离工艺要求，在可预见的未来，准分子激光将继续引领最先进的激光剥离方案。

Coherent相干公司开发出类掩膜的方式对Micro LED进行巨量转移（LIFT），转移速度高达每秒数万颗LED，配合独有的高精度光学器件能实现2微米间距的高精准加工。目前，亚洲知名终端厂商已经采用Coherent的巨量转移设备用于研发和试验生产。

Micro LED显示屏要想在市场上获得成功，既要大幅降低生产成本，又要不遗余力地朝着100%良率努力。若非如此，生产出数亿像素的显示屏将无法实现。但缺陷芯片是不可避免的，因此制造商只能采用与维修/更换方案兼容的生产技术平台。相干公司适用于LLO和巨量转移的UVtransfer与目前研究中的修复概念兼容。

该工艺的第一步是在晶圆上找到并去除缺陷芯片。但是，这样会在临时载板上留下空缺（原本由缺陷芯片所占据）。因此，必须在最终基板上重新填充这些空缺。

将该工艺仅应用于选定区域，或仅应用于单个芯片，就可以在LLO之前从晶圆上去除缺陷芯片。然后，每个晶圆上去除的芯片会形成一张地图，并进一步形成基板上缺失芯片的地图。可以在巨量转移后通过类似的前向UVtransfer工艺分别补上缺失的芯片，只不过此时要使用指定的单束紫外光。

Micro LED是一项激动人心的技术，可以拓展微型和大型显示屏的性能和应用范围。Coherent相干公司提供从激光器、子系统到完整加工设备的全套解决方案，支持Micro LED制程中的剥离、巨量转移和修复工艺，在满足精度和产量的同时，满足预期的芯片良率需求。

3月17-19慕尼黑上海光博会期间，Coherent相干公司将推出专题报告，分享Micro LED行业最新激光技术与应用。

Coherent相干激光技术系列论坛

准分子激光器高端应用特别专场

来源：Coherent相干公司

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