中晟首台ProMaxy®MOCVD设备顺利通过客户评估验收

中晟光电设备（上海）有限公司的首台大规模生产型LED MOCVD设备ProMaxy®已于2013年6月在江苏汉莱科技有限公司顺利通过生产评估验收。

中晟于2012年12月12日成功发运了首台大型国产MOCVD设备给汉莱科技有限公司。经过2个月的实际工作时间，中晟先后完成了设备安装、硬件测试和外延工艺达标验收；汉莱科技有限公司在设备交付后的3个月内，按大规模外延生产的要求，首先对中晟设备进行了各项设备性能和外延工艺的测试和验证；然后根据中晟设备的特点，调试和优化了汉莱自己的外延工艺和LED性能。在此基础上，汉莱科技有限公司对中晟设备又进行了外延量产的可靠性、稳定性、和重复性等各方面的评估。在关键的性能指标中，验收报告显示中晟ProMaxy® 单腔产能2英寸66片，两腔系统产能132片，四腔系统即可达264片；蓝光片内波长均匀性<1.5nm，炉内片间均匀性<2.5nm，炉间波长重复均匀性<2nm；非掺氮化镓的迁移率607cm²/Vs。

通过以上综合验证与评估，基于各项性能均达到或超过验证与评估的指标，例如，单片外延生产成本和提高光效（155lm/W，1023规格的蓝光芯片），汉莱科技有限公司于2013年6月18日签署了最终验收报告，确认评估合格并验收通过。

中晟首台MOCVD设备ProMaxy®通过客户和市场的验证标志着在实现中国大型MOCVD设备国产化战略目标的征途上，中晟又迈出了具有里程碑意义的一步。