韩国NTS开发8英寸LED晶圆研磨设备

近日,韩媒报道,韩国半导体晶圆研磨抛光设备厂商NTS将于5月发布8英寸半导体晶圆研磨设备 "Edge Grinder ",该设备可将晶圆的外径精确加工成任何所需的形状。此前,NTS已发布了6英寸的晶圆研磨设备。

据了解,NTS成立于2002年,是一家韩国设备企业,主要生产LED晶圆研磨抛光设备,NTS计划成为一家专注于前期与后期处理封装设备业务的企业。目前,NTS为三星电子、首尔半导体、LG Display、欧司朗、华灿光电等公司提供设备。

图片来源:NTS官网

据韩媒介绍,NTS宣布将于5月完成新型晶圆研磨设备"Edge Grinder"的开发。新设备采用金刚石磨砂盘研磨8英寸晶圆的外径和边缘,通过新设备的研磨,晶圆可以精确加工成客户所需的尺寸和形状。

NTS新研磨设备其中一个重要特点是可将影响晶圆生产过程的质量的振动或负载最小化,NTS总经理表示,新研磨设备"Edge Grinder"使用精密的CCD传感器准确识别晶圆位置和晶圆形状,客户可通过工件旋转定位晶圆,并通过精密旋转将设备负载降至最低,因此"Edge Grinder"的生产效率和速度优于其他设备厂家。

另外,NTS总经理透露,目前,NTS正在推动洽谈8英寸研磨设备的业务发展,望通过更高的生产力和更低的价格扩大NTS在半导体研磨设备的市场份额。

据悉,NTS此前已量产了6英寸的研磨设备"Edge Grinder",目前6英寸研磨设备已向中国半导体晶圆公司中华半导体供应。韩媒透露,近期NTS 6英寸设备订单量增加,今年上半年NTS将向晶圆制造商供应约30台设备,预计销售额将达到70~80亿韩元。(LEDinside Irving编译)

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