中微公司MiniLED量产用MOCVD设备订单超100腔

12月9日，中微公司宣布其MOCVD设备迎来又一里程碑：Prismo UniMax® MOCVD设备订单超100腔。

据悉，Prismo UniMax® MOCVD设备于今年6月正式发布，主要用于氮化镓（GaN）基MiniLED外延片量产。MiniLED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。

中微公司介绍，Prismo UniMax® MOCVD设备专为高性能MiniLED量产而设计，通过创新的多区温度调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度上提升LED波长均匀性。此外，优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性，新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。

图片来源：拍信网正版图库

Prismo UniMax® 配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计，最多可以同时加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高产能并有效降低Mini LED生产成本。Prismo UniMax® 在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔都可以独立控制。

Prismo UniMax® 是中微公司MOCVD设备系列的最新产品，该系列产品还包括Prismo D-BLUE® 、Prismo A7® 和Prismo HiT3® 。2013年，Prismo D-BLUE® 作为当时国内率先自主研发制造的量产型MOCVD设备正式发布。此后，公司相继发布Prismo A7® 和Prismo HiT3® 产品。如今，中微公司的MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上全面投入量产。（来源：中微公司）

转载请标注来源！更多LED资讯敬请关注官网或搜索微信公众账号（LEDinside）。