LEDinside快报: 中晟光电正式投产具备量产能力的中国本土MOCVD机台

LEDinside消息，江苏中晟半导体设备有限公司的全资子公司，中晟光电设备（上海）有限公司在2012年12月12号成功出货中国首台具有世界先进水准的大型国产MOCVD设备给客户。这不仅标志著在实现中国大型MOCVD设备国产化战略目标的征途上，中晟迈开了具有里程碑意义的一步，而且充分体现了中国有能力在高端装备领域实现跨越式的发展。中国工信部、上海市经信委、浦东新区、张江、常州及金坛各级领导和5家客户，参加了中晟12月12号举行的首台设备的发运庆典。

LEDinside了解到，江苏中晟半导体设备有限公司做了大量的制程验证，此设备在Alpha测试阶段的炉子调试中，最少都是跑200到400炉次(runs)，这是在Beta产品出货前的测试规模，目前已经正式出货，标榜了一定的测试品质。

作为LED晶圆生产过程中最为关键的设备，MOCVD的核心技术长期被欧美企业所垄断，对中国LED产业想要能够垂直化或自有生产LED芯片而言，一直是个障碍。但市场上之前的过度投资，反而导致市面上LED产能过剩的不健康发展。

随着LED照明逐渐成为LED产业发展的主要推动力，现有被垄断的设备，长期来看，或许不能满足LED大规模生产和产业高速发展的需要，这为中国实现大型MOCVD设备国产化战略目标，提供了一个跨越式发展的契机。

中晟公司仅用了10个月的时间，也就是在2012年初1月18日，就成功实现了MOCVD生产机型。接着，只用了10个月时间，又完成了制程技术的开发，以及硬件设备进一步的改进优化，完成了设备产业化生产必备条件与设施的建立。

该公司也在此基础上又完成了4家客户的多次实地考察，亲临操作设备和验证各项制程。相关的客户肯定了中晟设备的技术方向和设计上的先进性，也对设备用于大规模生产提出了进一步改进的建设性要求。

根据LEDinside的了解，这款MOCVD机台，在2吋蓝宝石基板的规划上，炉子一次可以承载六十几片到八十几片。