6吋MOCVD需求激增，设备市场主流趋势已成必然

2013年6吋有机化学气相沉积(MOCVD)机台量将大幅增长。发光二极体(LED)价格自2011年始走跌，上游LED磊晶厂除藉由缩减资本支出(CAPEX)力挽利润与营收下滑颓势外，亦已逐步调高6吋MOCVD机台采用比重，进一步降低制造成本、强化价格竞争力。

Laytec业务总经理Tom Thieme表示，今年上游LED磊晶供应商添购MOCVD机台的数量明显下滑，且4吋MOCVD机台不再是市场主流，反之6吋MOCVD机台的采购比例明显攀升，显见LED磊晶厂已面临极大的成本压力，因此加紧购入大尺寸MOCVD机台，以提高毛利率和营收贡献。

看好6吋MOCVD机台需求看涨，爱思强(Aixtron)、威易科(Veeco)等MOCVD设备商早已展开6吋产品线部署；另一方面，MOCVD光学量测厂商，亦快马加鞭布局先进的现地量测(In-Situ Metrology)技术，以提高LED磊晶厂的生产良率，达成调降制造成本的目的。

目前Laytec针对6吋MOCVD机台开发的现地量测仪器，让LED波长的一致性可达±3奈米(nm)，该公司计画至2015年达±1奈米的目标，可望助力LED磊晶厂加快提升良率，以缩减成本。

预估，2013年6吋MOCVD机台的市场渗透率将会急速扩大，对于量测MOCVD反应炉内晶圆温度的高温计(Pyrometer)仪器，MOCVD设备厂商已发出安装到反应炉中的现地量测仪器，可以确保晶圆的平整度(Flatness)，以提高良率。