日本展出用于替换LED蓝宝石基板的钼(Mo)基板及钼铜(MoCu)基板

在“第3届新一代照明技术展”上,攀时日本(PLANSEE Japan)展出了用于替换嵌入LED结构的蓝宝石基板的钼(Mo)基板及钼铜(MoCu)基板等产品。

通过替换成Mo基板或MoCu基板,可提高LED芯片的散热性能,而且有助于实现LED芯片的高功率化及高效率化。据介绍,目前从事厂商正在讨论导入该产品。

在蓝宝石基板上使GaN系半导体结晶外延生长,然后将Mo基板或MoCu基板粘贴在GaN系半导体结晶上。随后揭下蓝宝石基板,切割成LED芯片。将蓝宝石基板替换成其他基板的技术已用于部分蓝色LED芯片,攀时日本表示,采用Mo基板目前只限于紫外LED芯片。因为使用激光划片(Laser Dicing)方法比利用Mo基板等替换的LED晶圆切割成LED芯片时的速度慢。

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