GT Advanced Technologies公布蓝宝石材料质量对LED晶圆制程的影响的案例研究

GT Advanced Technologies Inc.（GTAT）日前公布了蓝宝石材料质量对LED晶圆制程的影响的案例研究。报告详述了一项盲型材料研究的发现，这项研究针对蓝宝石材料质量对高亮度LED即用型磊晶制程的影响进行了调查。研究显示，蓝宝石材料质量对LED晶圆产量有直接的影响，在接受测试的四家材料供货商中，GT先进蓝宝石熔炉（ASFTM）蓝宝石生长材料能够实现最高的晶圆产量。

蓝宝石材料和设备部门副总裁兼总经理Cheryl Diuguid表示：“GT为LED产业提供蓝宝石已超过12年时间。我们启动这项评估项目是为了验证我们从材料客户那里听到的积极反应意见——ASF蓝宝石生长材料拥有卓越质量以及能够对晶圆产量产生有利影响。晶圆产量对于晶圆制造商而言尤为重要，因为这对他们的经济产生了直接影响。数据显示，不同的蓝宝石材料来源能够使晶圆产量产生差异，而GT的ASF材料表现最好。”

这项研究对来自GT ASF和其他三家蓝宝石供货商的25件核心样品进行了评估。为了获得公正的数据，GT与一家独立的领先晶圆制造商进行了合作，提供了盲型、没有标志的材料来源。采集的重要晶圆参数（能够影响产量和成本）数据报括晶圆几何参数（表面粗糙度、总厚度变动、弯曲度和弧度）以及晶圆报废率。

GT Advanced Technologies将这项案例研究的报告于9月28日至30日在位于日本举行的Strategies in Light贸易展出期间的M-78摊位上提供，并且会公布在该公司的网站上，按这里可直接存取。