牛津仪器针对6英吋衬底设备首次推出HVPE设备

展望2009年，牛津仪器针对6英吋衬底设备首次推出HVPE设备。OIPT的等离子设备能用来刻蚀蓝宝石衬底，并在GaN沉积之前帮助衬底产生图案化特徵。一旦沉积完成，设备也能对蓝宝石进行腐蚀。牛津仪器的Plasmalab System133 ICP380等离子刻蚀设备，即使在目前经济大环境下，仍推动OIPT的总销量达歷史新高。虽然亚洲LED制造商的开销正在下滑，但仍在进购牛津仪器的等离子刻蚀设备。

在亚洲地区，ICP380客户能得到高水准的技术支持与服务，设备的处理能力、批量大小和产量吸引着客户。受固态LCD背光照明的驱动，在即将过去的一年裡，OIPT的等离子系统订购量是空前的，仅10月份就售出了20套。现在刻蚀系统可应用于2英吋、4英吋和6英吋的衬底。上个月，OIPT按约定交付三套ICP380系统，这是一笔里程碑式的交易，它代表着LED制造商对这项技术的兴趣持续加温。2009年，在位于英国的Yatton厂内，OIPT将为「一个重要的HB-LED制造商」组装15套设备。该公司销售总监Mark Vosloo表示，「我们已递交了一份关于第四套系统的订购意向书，这个计划希望进展很快。」OIPT相信在未来9-12个月内，上面提及的那家客户将订购剩餘的设备，用它来生产LCD显示屏的LED背光模组（BLU），比如面向电脑、电视中更薄、更有效的固态照明光源。

2008年4月，OIPT收购了美国的Technologies and Devices International公司，主要目的是对方已开发的HVPE技术，2009年初，OIPT希望开始卖HVPE设备。在最近的季度度报告中，全球最大的MOCVD设备供应商AIXTRON以及排名第二的Veeco公司都表示设备订单量明显下滑，原因在于，面向BLU市场的亚洲LED制造商的一系列重要订单在流失，现在这些公司正利用他们自己的系统来加大生产。